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日本美蓓亞三美（MinebeaMitsumi）MMS101 是一款6軸力扭矩傳感器，它具有3軸力和3軸力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金屬結(jié)構(gòu)的混合結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)6軸檢測。 MMS101 在其模塊中內(nèi)置了 AFE IC，并產(chǎn)生數(shù)字輸出 (SPI)。 用于矩陣運算的校正系數(shù)（去除其他軸干擾分量）存儲在 AFE IC 內(nèi)的存儲器中。 由于可以在測量開始前立即讀取它們，因此用戶無需控制傳感器和校正系數(shù)。
此外，MMS101 模塊中內(nèi)置的 LDO 可降低噪音。 本產(chǎn)品極其小巧輕便，適用于機器人手的指尖。
? 微型尺寸：Φ9.6(W) × 9.0(H) mm；
? 重量輕：3 g；
? 高載荷范圍： Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N?m；
? 額定量程范圍： Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N?m；
? 內(nèi)置LDO降噪：
? Fx, Fy：0.04N RMS / Fz：0.06N RMS；
? Mx, My：0.0004N?m RMS / Mz：0.0008N?m RMS；
? 通過內(nèi)置序列器（SPI）數(shù)字輸出6軸數(shù)據(jù)。
| （1）力/扭矩傳感器性能指標 | |||||||
| 測試條件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | |||||||
| 指標 | 符號 | 條件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 單位 | |
| 理論分辨率 | FxFyFz | FRES | - | - | 0.001 | - | N |
| MxMyMz | MRES | - | - | 0.00001 | - | N?m | |
| 有效分辨率(備注1) | FxFy | FEresxy | - | - | 0.04 | - | N |
| Fz | FEresz | - | - | 0.06 | - | N RMS | |
| MxMy | MEresxy | - | - | 0.0004 | - | N?m/RMS | |
| Mz | MEresz | - | - | 0.0008 | - | N?m /RMS | |
| 線性度(備注1) | FL | FS=40N or | -1 | - | 1 | %FS | |
| ML | 0.4N?m | -1 | - | 1 | %FS | ||
| 滯后 | FHys | FS=40N or | -1 | - | 1 | %FS | |
| MHys | 0.4N?m | -1 | - | 1 | %FS | ||
| 測量精度 (備注1) | FAcc | FS=40N or | -5 | - | 5 | %FS | |
| MAcc | 0.4N?m | -5 | - | 5 | %FS | ||
| 轉(zhuǎn)換時間 | tcon | - | - | 781.25 | - | usec | |
| 延時 | tlat | 轉(zhuǎn)換時間：典型值; 通訊時鐘：1MHz; 無延遲切換 AFE 訪問 | - | - | 2 | msec | |
| 備注1: 圖表中的值是使用我們的評估設(shè)備和電路板的測量結(jié)果 | |||||||
| （2）電氣指標 | |||||||
| 模擬指標(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V) | |||||||
| 指標 | 符號 | 條件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 單位 | |
| VDD 電流消耗 | IVDDact | 測試工況 | - | - | 10 | mA | |
| VDDIO 電流消耗 | IVDDIOact | 測試工況 | - | - | 20 | uA | |
| 數(shù)字I/O 指標(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | |||||||
| 指標 | 符號 | 條件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 單位 | |
| 高電平輸入電壓 | VIH | - | 0.8 × VDDIO | - | VDDIO + 0.3 | V | |
| 低電平輸入電壓 | VIL | - | -0.3 | - | 0.2 × VDDIO | V | |
| 輸出電壓高電平 | VOH1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = -3mA | VDDIO - 0.4 | - | - | V | |
| VOH2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = -1mA | 0.8 × VDDIO | - | - | V | ||
| 輸出電壓低電平 | VOL1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = 3mA | - | - | 0.4 | V | |
| VOL2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = 1mA | - | - | 0.2 × VDDIO | V | ||
| （3）尺寸規(guī)格 | |||||||
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| 推薦的FPC連接器： | FH28D-20S-0.5SH (HIROSE ELECTRIC CO.,LTD) | ||||||
| （4）傳感器坐標 | |||||||
| *坐標原點是傳感器頂面中心. | |||||||
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| 應(yīng)用實例 | |
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| 應(yīng)用于機械手、夾具 | 應(yīng)用于檢驗流程設(shè)備等 |
